使用方法
半導體製造設備：擴散爐，RTP，各種N 2爐氣氛測量空氣分離設備
SH-300系列氧氣分析儀是採用厚膜傳感器和數字信號處理技術的氧氣分析儀。
該模型將傳感器和接收器組合為一個單元。
規格
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型號 |
SH-304（其他型號請聯繫我們） |
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測量原理 |
氧化鋯濃縮池法 |
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測量範圍 |
0-10ppm-0-100％可以選擇任何4個範圍 |
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線性度 |
0-100ppm以下：±3％FS 小於0-1％的範圍：±2％FS 0-1％或更高範圍：±4％FS |
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重複性 |
±1％FS（小於0-1％）±0.5％FS（大於0-1％） |
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響應時間 |
0-1％或以上：10s或以下0-1％或以下：30秒或以下 （切換標定氣體時的T90響應） |
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模擬量輸出 |
DC0-10V（其他輸出請聯繫我們） |
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標定 |
4點+空氣1點校準（請準備標準氣體） |
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安裝方式 |
面板切割，安裝在設備內部 |
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測量方式 |
內置泵採樣方法 |
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電源供應 |
DC24V |
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外形 |
大約W175×D270×H129 |
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機重 |
約4.5kg |
