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MS-500 項目編號:MS-500

MS-500項目編號:MS-500

最多可以同時測量8個點
可以從ppm級到100%的寬濃度顯示。
非常適合安裝在半導體製造設備,真空設備等中。
傳感器為直接插入型(用於真空16/25/40的NW法蘭)
在高耐久性傳感器上提供特殊塗層,進一步提高耐用性

MS-500_規格

測量原理

電池供電的氧化鋯氧氣分析儀

類型

分體式(轉換器:壁掛式;傳感器:直接插入式)

顯示系統

4位數字顯示(濃度顯示)

測量範圍

0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%O2; 10-20 to 10-0atm
自動範圍

重複性

滿量程的±0.5%以內; 0-1%以上的範圍

在滿量程的±1%或±0.1ppm以內,以較大者為準;範圍小於0-1%

0-1ppm atm範圍內的濃度不在保修範圍內

測量點數

1-8

樣氣要求

壓力:10-3-200KPa(絕對壓力)

流量:0.5-5,000mL / min或0mL / min(在自然分散狀態下測量)

濕度:露點低於環境溫度

溫度: 0-100℃

其他:不含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫酸氣體等),含有機矽的氣體,易燃成分(包括氣體),油或濕氣

參考氣體

大氣

記錄儀輸出

僅變速箱輸出

傳輸輸出

RS-232C

報警輸出

暖機時間

不到6分鐘。

尺寸

MS-500(控制器):92(W)×44(H)×120(D)mm(不包括突出部分)

MS-510(轉換器):100(W)×40(H)×88(D)mm(不包括突出部分)

傳感器單元:

SD16NW:全長100mm(傳感器Φ11×39,主體Φ40×51)

SD25NW:全長100mm(傳感器Φ11×42,主體Φ40×48)

SD40NW:全長100mm(傳感器Φ11×41,主體Φ40×49)

重量

MS-500(控制器):約 0.6公斤

MS-510(轉換器):約 0.5公斤

傳感器單元:

SD16NW:大約 0.2公斤

SD25NW:大約 0.2公斤

SD40NW:大約 0.35公斤

外部連接

任何真空法蘭(NW16、25或40)

使用電源

24VDC±10%