使用方法
半導體製造設備:擴散爐,RTP,各種N 2爐氣氛測量
空分設備
TF-21D201氧氣分析儀是採用厚膜傳感器和數字信號處理技術的氧氣分析儀。
空分設備
型號 |
TF-21D201 |
測量原理 |
氧化鋯濃縮池法 |
測量範圍 |
0-10ppm-0-100%可以選擇任何4個範圍 |
線性度 |
0-1%或更高:±1%FS 0-1%:±2%FS 0-100ppm以下:±3%FS |
重複性 |
±1%F(小於S 0-1%範圍)±0.5%F(大於S 0-1%範圍) |
響應時間 |
0-1%以上:10s以下0-10%以下:30秒以下 (切換標定氣體時的T90響應) |
模擬量輸出 |
4-20mA DC(固定),0-1,0-5,0-10V可選 |
校正 |
4點+空氣1點校準(請準備標準氣體) |
安裝方式 |
帶專用傳感器安裝支架的管道安裝 |
測量方式 |
直接安裝,採樣(個人對應) |
供電電源 |
AC100,200V或DC24V |
外形(接收器) |
大約W96×D170×H96 |
機重 |
傳感器約1 kg,接收器約1 kg |