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微量氧分析儀TF-21D201 項目編號:TF-21D201

微量氧分析儀TF-21D201項目編號:TF-21D201

超小型傳感器可測量範圍從%到0-10ppm的範圍

測量範圍可以從0-10ppm至%的4個範圍中自由選擇。

帶有本地/遠程和自動範圍切換的範圍切換

帶濃度上下限報警

使用方法

 

半導體製造設備:擴散爐,RTP,各種N 2爐氣氛測量

空分設備

TF-21D201氧氣分析儀是採用厚膜傳感器和數字信號處理技術的氧氣分析儀。

 

空分設備

 

型號

TF-21D201

測量原理

氧化鋯濃縮池法

測量範圍

0-10ppm-0-100%可以選擇任何4個範圍

線性度

0-1%或更高:±1%FS 0-1%:±2%FS

0-100ppm以下:±3%FS

重複性

±1%F(小於S 0-1%範圍)±0.5%F(大於S 0-1%範圍)

響應時間

0-1%以上:10s以下0-10%以下:30秒以下

(切換標定氣體時的T90響應)

模擬量輸出

4-20mA DC(固定),0-1,0-5,0-10V可選

校正

4點+空氣1點校準(請準備標準氣體)

安裝方式

帶專用傳感器安裝支架的管道安裝

測量方式

直接安裝,採樣(個人對應)

供電電源

AC100,200V或DC24V

外形(接收器)

大約W96×D170×H96

機重

傳感器約1 kg,接收器約1 kg